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    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。江宁区粉尘真空搬运机推荐厂家！天宁区常见真空搬运机推荐厂家

    但本发明并不限定于上述的说明，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述的搬运系统100中，也可以在高架搬运车50的移动路径中配置储料机(自动仓库)等。储料机例如可以设置于第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14中的任一方或者双方。高架搬运车50可以能够针对该储料机的交接端口进行物品2的交接，例如，能够在储料机与第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，在法律法规允许的范围内，引用作为日本申请的日本特愿2017-128570、和在本说明书中引用的全部文献的内容作为本文记载的一部分。附图标记说明sa1…第1保管区域；sa2…第二保管区域；ta1…第1装置区域；ta2…第二装置区域；lp…装载端口；tl1…第1处理装置；tl2…第二处理装置；2…物品；2a…凸缘部；10…顶棚轨道；11…第1区段内顶棚轨道；12…第二区段内顶棚轨道；13…第1区段间顶棚轨道；14…第二区段间顶棚轨道；15…第1连接轨道；16…第二连接轨道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重机；40b…第二起重机；41a…第1行驶部；41b…第二行驶部；42a…第1桅杆；42b…第二桅杆；43a…第1升降台；43b…第二升降台。徐州糖袋真空搬运机哪里可以买到溧水区常见真空搬运机推荐厂家！

    保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构，也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机，通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制，使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置60等控制，将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54和保持部53沿着引导件，在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。

    控制头19包括顶端开设有开口一22、底端开设有开口二23的壳体24，开口一22与搬运管15底端连通，开口二23通过数根支管29与各吸盘20——对应连通(即一根支管29连通一个吸盘20)，开口二23上设置有位于壳体24内的阀门，阀门底部的触头螺栓26位于壳体24外部，且触头螺栓26的底面低于吸盘20的吸附接触面(本实施例的各吸盘20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制头19上。其中，控制头19带有真空表27，以便于随时了解控制头19内的真空度情况；操作手柄21为带旋转手把的操作手柄，可随意控制搬运管15的上升、下降，以方便搬运。其中，阀门包括阀片25和数根外壁上套置有弹簧28的光杆螺杆29，光杆螺杆29均匀分布并固定在开口二23的四周，阀片25配合将开口二23封闭并活动套置在各光杆螺杆29下端，同时由弹簧28抵住。本实用新型对被搬运物体的搬运动作过程如下开启真空泵13，在真空吸盘装置对着被搬运物体下压的过程中，其触头螺栓26会先触碰到被搬运物体，在触头螺栓26的向上推力作用下，阀片25被顶开，真空作用力依次通过开口二23、支管29进入吸盘20，终实现对被搬运物体的吸附、搬运。搬运到位后，关闭真空泵13，阀片25在弹簧28的弹性恢复作用力下被顶回原位，将开口二23密封。六合区象鼻子真空搬运机推荐厂家！

    万向轮、2移动小车、3拉杆、4立柱、5主升降气缸、6主旋转座、7主旋转轴、8主关节锁死装置、9大侧板、10摆动主臂、11摆动副臂、12副关节锁死装置、13连接板、14横臂旋转座、15旋转臂主轴、16旋转臂、17垂臂旋转座、18副旋转轴、19下垂臂、20扶手、21真空吸盘、22工件。具体实施方式在图中，移动小车2截面呈长方形，其底部四角各设有一万向轮1，移动小车2顶端中部设有立柱4，左侧设有拉杆3，立柱4顶端设有主旋转座6，可旋转360°，主旋转座6通过主旋转轴7与大侧板9相连接，大侧板9内设有气压控制阀，气压控制阀与主升降气缸5相连接，大侧板9左侧下端设有主升降气缸5，大侧板9上设有内侧板，主旋转座6和大侧板9之间设有主关节锁死装置8，摆动主臂10和摆动副臂11一端分别与大侧板9相连接，另一端分别与连接板13相连接，摆动主臂10位于摆动副臂11下侧并与摆动副臂11相平行，横臂旋转座14通过旋转臂主轴15与旋转臂16相连接，旋转臂16可旋转300°，旋转臂16和横臂旋转座14之间设有副关节锁死装置12，旋转臂16末端设有垂臂旋转座17，可旋转360°，垂臂旋转座17与副旋转轴18相连接，副旋转轴18与下垂臂19相连接，下垂臂19上设有扶手20，扶手20上设有电脑控制盒。雨花台区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！鼓楼区真空搬运机哪里可以买到

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    能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外，也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况，但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下，也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶，确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外，第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶，而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来，如图8所示，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶，从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。天宁区常见真空搬运机推荐厂家

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